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ACC 影像仪标准样板

市场价:¥0.00

艾尔发订货号:10820001

品牌:ACCURMADE

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  • 产品描述
  • 技术参数

 

  1、ACC-20 圆型靶标   
     
  
 
型号:ACC-20                     货号:10820001
 
一块圆形直径:20mm                圆度精度:±0.5μm
 
一块圆形直径:0.5mm  0.1mm        圆度精度:±0.5μm
 
 
2、ACC-10-10大网格板
 
         
 
型号:ACC-10-10        货号:10810101
 
规格:340*340mm
 
方格尺寸:10*10mm
 
精度:±0.5um
 
 
3、ACC-5-5纳米级台阶样板
 
      
型号:ACC-5-5    货号:10850501
外型尺寸 :5x5mm
台阶高度 :20/100/500nm, 每一个包装盒上的标志都有具体的数值
结构几何 :
 
- 1mmx1mm的正方上每10μm间距有正方形柱子和洞
- 500x500μm的正方上每5μm间距有圆形柱子和洞,还有X、Y方向的线路
4、ACC-S1000放大倍率样板

 

该系列标样既可用于扫描电镜,也可用于光学显微镜(包括普通光学显微镜和激光共焦显微镜)的放大倍率校准。

 

1、栅格小最分辨率:0.5um

 

2、规格: 40μm、20μm、10μm、5μm和1μm的线距

型号:ACC-S1000    货号:10810001

 

 

 

光栅区域

 

大方格 中方格 A B

 

x向水平栅距

2000.6μm
±2μm
1200.4μm
±1μm
40000.6
±4nm
20000.4
±2nm

及不确定度

 

 

y向水平栅距

2000.6μm
±2μm
1200.4μm
±1.2μm
40000.6
±5nm
20000.4
±3nm

及不确定度

 

 

正交性

90 90 90 90

及不确定度

 

± 0.01º ± 0.01º ± 0.01º ± 0.01º

 

栅距非均匀性

 -   -  ≤0.2% ≤0.3%

(包括不同模版间)

 

 

 

 

光栅区域

 

C D E1 E2

 

x向水平栅距

10000.2nm
±2nm
5000.0nm
±1.5nm
2000.4nm
±1nm
1000.4nm
±0.8nm

及不确定度

 

 

y向水平栅距

10000.2 nm
±1.5nm
1000.0nm
±1nm
1000.4nm
±1nm
1000.4nm
±0.9nm

及不确定度

 

 

正交性

90  -   -   - 

及不确定度

 

± 0.01º

 

栅距非均匀性

≤0.3% ≤0.5% ≤1% ≤1.5%

(包括不同模版间)

 

 

 

Co-brands合作品牌