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【包邮】ABRT系列精密气浮转台

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2023092649
品牌
ACCURMADE
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ABRT 系列精密气浮转台:
ABRT 的精密空气轴承转台可以满足不同重量和零件尺寸的计量需求。 高精度的回转精度,为最苛刻的测试场景,提供超平稳的运动,亚微米精度和绝对重复性。 高超的制造水平,
内部设计和制造的几何公差极其严格, 保证了空气轴承的质量和稳定性。无机械接触部件磨损或产生阻力,可达到数十年可靠的免维护运动。
ABRT 系列高精度气浮转台主要面向测量设备、半导体设备等。

大负载、 高精度的气浮轴承

ABRT 系列采用了高精度空气静压轴承技术, 可达到较大的轴向负载,最大可达500kg,可满足各类型测量需求;ABRT 

系列轴承具有极高的轴承回转精度,径向误差运动值<150nm,轴向误差运动值<50nm。


高水平的加工技术

ABRT 系列转台内部设计及制造水平要求极为严格, 零件采用超精密加工方法,轴承加工精度达到亚微米级, 

从而保证了气浮轴承能达到极高的精度;自主研发的材料热处理方式、涂层等,保证了零件的稳定性以及表面质量。


重复性高、可实现极高定位精度:
由于气浮转台平稳的运动性能,无摩擦和阻力,有极好的机械性能;采用无框力矩电机驱动和高精度圆光栅做反馈, 

高性能伺服控制器进行控制, 可实现±2arcsec 的回转定位精度, ±1 arcsec 的回转重复定位精度。


多种配置可选:
基于自主设计和制造能力及创新精神, ABRT系列轴承还有以下可选项:
1、 台面真空进气

2、 高精度的定心及夹紧工装;
3、 电机可选,并可增加水冷


DM宣传单-精密气浮转台150-设计.jpg



ABRT 技术规格及参数如下:

ABRT Series

ABRT- 150

ABRT-300

ABRT-400


台面直径(Tabletop Diameter

150mm

300mm

400mm


高度(Height

95mm

105mm

150mm


中孔尺寸(Aperture

35mm

70mm

70mm


峰值扭矩(Peak Torque

2.1 N.m

21 N.m

58 N.m


持续扭矩(Continuous Torque

2.8 N.m

15 N.m

36 N.m


最高转速(Max Speed

300 rpm

500 rpm

300 rpm


定位精度(Accuracy

±2 arc sec




重复定位精度(Repeatability

±1 arc sec




负载
Max Load

轴向(Axial

50kg

240 kg

500kg

径向(Radial

30 kg

130 kg

200kg


倾摆(Tilt

15N.m

70N.m

100N.m


轴向误差运动(同步)
Axial Error Motion (Synchronous)

100nm




径向误差运动(同步)
Radial Error Motion (Synchronous)

250nm




倾摆误差运动(同步)
Tilt Error Motion (Synchronous)

2urad




供气压力(Operating Pressure

0.6Mpa




耗气量(Air Consumption

25L/min

<35L/min



质量(Total Mass

15 kg

40kg

60Kg


注: 精度检测转速为60rpm 检测标准为GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000
环境温度为 20°±0.5° C
 


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